Разбрызгиванием можно наносить резисты всех типов. Резисты KMER и KPL, а также при некоторых соотношениях смесь резистов KPR и KPL дают толстые слои и склонны образовывать затеки. Можно добиться и получения тонких слоев на тех же материалах, что дает возможность накладывания последовательных слоев один на другой.

Разбрызгивание лучше других методов гарантирует отсутствие излишнего резиста в отверстиях сверленых заготовок плат. Основные недостатки этого метода - высокая стоимость и относительная неоднородность покрытия.

Дороже всего, как правило, обходится разбрызгивание падающей струей (когда распылитель удален от краяпокры-ваемой поверхности). Другие способы (безвоздушный и электростатический) более экономичны, но для нанесения резистов нашли ограниченное применение.

Толщина получаемого покрытия зависит от личного искусства оператора и гибкости самого процесса. Нужно стандартизовать вязкость резиста, давление воздуха, сечение сопла, рабочее расстояние до заготовки, степень распыления резиста, температуру и относительную влажность окружающего воздуха, ежедневное техническое обслуживание пульверизатора.

Основной источник всех технологических сложностей при разбрызгивании - загрязнение носика распылителя или попадание твердых частиц в седло игольчатого клапана. Обычно эти проблемы разрешаются после промывки приспособления растворителем или разбавителем. Очевидным последствием указанных отклонений является пульсирующее, неравномерное разбрызгивание.

Перед началом работы нужно проверить насадку и носик. Пробное распыление резиста на вертикальную панель с расстояния 15-20 см должно давать вертикально вытянутый эллипс.

Опрыскивание заготовки нужно начинать снизу по линии параллельно поверхности с расстояния 15-20 см. Сначала спусковой крючок пистолета нужно нажать не полностью, подавая таким образом лишь сжатый воздух и удаляя с его помощью пылинки, осевшие на заготовку. Первую порцию резиста нужно давать не на заготовку, и лишь затем направить сопло Б сторону покрываемой поверхности, покачивая его слева направо и обратно. Это раскачивание нужно продолжать и по мере продвижения сопла вдоль заготовки. Скорость этого поперечного перемещения легко может быть

оптимизирована на глаз, по виду получающегося покрытия. При слишком быстром ведении распылителя вдоль поверхности покрытие получается пятнистым и во всяком случае скорее матовым, нежели блестящим. При слишком медленном перемещении получаются потеки смолы и волнистая из-за действия дутья поверхность. В разных сочетаниях личности оператора, применяемого оборудования, скорости продвижения распылителя вдоль заготовки, давления, вязкости и т. д. получают разную поверхность.

Воздух для дутья должен быть сухим, обеспыленным и профильтрованным от остатков масла. В сеть сжатого воздуха необходимо включить фильтры со сменными картонными фильтрирующими элементами и с водяным затвором. Лучше использовать сжатый сухой азот, так как он обычно чище воздуха. Давление газа обычно составляет от 0,35 до 1,40 кг1см.

Электростатическое распыление. В основе электростатического распыления лежит принцип сообщения заготовке и частичкам смолы полярно противоположных электростатических зарядов. Сжатый воздух используют только для распыления резиста и сообщения его частицам приблизительного направления полета. Из-за того, что излишнего разбрызгивания частиц не происходит, расход резиста при таком способе нанесения покрытия сокращается. Метод пригоден для автоматизации с целью увеличения равномерности толщины получаемых слоев. Часть фоторезистив-ных материалов подходит для разбрызгивания этим методом, но капитальные затраты при этом слишком велики и могут быть оправданы только при крупносерийном производстве.

Электростатическое распыление без подачи дутья. Это вариант предыдущего способа, только в данном случае для подачи смолы к заготовке поток воздуха не используется совсем. Жидкость накачивается во вращающуюся головку, отлетает к ее краям и там дробится мощным электростатическим зарядом. Получающаяся смесь устремляется к заготовке, заряженной противоположно. Этот метод эффективно снижает потери распыленного резиста. Он также позволяет автоматизировать процесс нанесения резиста, но требует значительных капитальных вложений.

Сушилки. Сушильное оборудование, применяемое для дубления резиста перед экспонированием и после проявления, может работать на любом принципе обогрева: пламенная печь, электрическая или газовая сушилка и т. д.

применим любой способ, лишь бы он давал возможность получать однородные результаты. Получаемая температура должна быть достаточной и для лучшего протекания процесса задубливания должна выдерживаться с точностью ±3°С. Стандартное время задубливания должно быть установлено заранее. Обычно распространенная, но нежелательная практика предполагает размещение плат в сушилках и выдерживание их там до тех пор, пока оператор не приготовит все необходимое к экспонированию. Как только будет достигнута нужная степень задубливания, заготовки нужно вынуть из сушилки и поместить в светонепроницаемые ящики, где они остынут и могут без всяких нежелательных последствий как угодно долго храниться до экспонирования. В узком интервале +0,5°С держат температуру электрические вентилируемые печи, хорошо изолированные от внешней среды. Лучше всего иметь электросушилку на рабочую температуру до 200° С с термостатическим контролем с точностью ±ГС. Во избежание запыления и загрязнения плат во время дубления очень важно рационально разместить сушилки в помещении лаборатории и правильно использовать фильтры. Из соображений обеспечения чистоты, так же как и в целях безопасности, желательно избегать применения пламенных печей, так как резисты горючи и ядовиты.

При выборе сушки следует исходить из максимального ожидаемого размера плат и максимальной дневной загрузки. Практика показывает, что лучше иметь несколько мелких сушилок, рассчитанных только на максимальный размер плат, чем одну большую сушилку. Это дает больше преимуществ. И кроме всего прочего, как минимум все сушилки необходимы из тех соображений, что температура предварительного и окончательного задубливания в разных случаях значительно изменяется. Платы в сушилках должны располагаться вертикально и свободно обтекаться теплым воздухом. Вертикальное расположение плат снижает также их запыляемость при сушке.

15. Предварительное задубливание

Операции дубления перед печатью обычно относят к циклу нанесения фоторезистивного слоя, в частности при печати на диэлектриках, фольгированных медью. Эта

10-0297 145