2. Высушив слой резиста на воздухе до отлипа , предварительно задубить его в течение 15 мин при 90° С (для толстых слоев требуется большее время). Для получения более стойкой в химическом отношении пленки дубление нужно проводить при . ° С при большей выдержке.

3. Печатать (экспонировать). Дли печати с последую-ш,им травлением используют негативные пленки (поле черное). Для печати под гальванопокрытие используют позитивные пленки (поле светлое). Экспонируют в свете дуговых или ртутных ламп. Время экспозиции зависит от оборудования; необходимы технологические пробы [3].

Для KPR, нанесенного разбрызгиванием, при освещении ртутной лампой с расстояния около 6,5 см время экспозиции составляет приблизительно 2 мин. Оптимальное время можно определить методом проб. Можно использовать и дуговые угольные лампы. При белом пламени дуги экспозиция будет меньше, чем при использовании ртутной лампы (от V4 до IV2 мин для 75-амперной лампы, установленной на расстоянии около 1,8 м).

Во время экспонирования необходимо плотно прижимать эмульсионную сторону фотопленки к поверхности резиста, обеспечив контакт использованием вакуумной прижимной рамы или фоторамки для контактной печати. Все надписи, буквы, цифры должны легко читаться во время экспонирования.

4. Проявить, а) Очистить трихлорэтиленом. Подвесить в парах растворителя при 90° С на 3-4 мин. Спрыснуть горячим жидким ТХЭ из бачка в течение 15 сек. Для более толстых слоев требуется большее время. Сверленные заготовки промывать более тщательно, прогоняя проявитель через отверстия, б) Можно использовать проявитель для KPR. в) В другом варианте можно предпринять 2-мин погружение в ксилол. В течение 15 сек опрыскивать смесью ксилола с клеем Fotocol *) (1 : 1). Окунуть в Fotocol. Высушить на воздухе.

5. Окрасить. Высушенную и проявленную заготовку погрузить на 30 сек в краситель KPR- Вынуть и дать стечь излишкам красителя. Смыть лишний краситель струей холодной (19-25° С) воды.

*) Производства фирмы Коммпершл Солвентс Корпорэйшн , гню, Калифорния.

6. Отретушировать. Используя маскировочный резист *), закрасить одну сторону платы, чтобы оставить нужные участки меди после операции травления. Удалить фоторезист с участков фольги, которые должны быть стравлены. Поместить в сушилку при 90° С до полного высыхания. Остудить, отретушировать вторую сторону.

7. Задубить окончательно (перед гальваническим покрытием). Дубить при 120°С в течение 15 мин до полного отверждения смолы; для толстых слоев выдержка может быть большей. Для процесса прямой печати и травления этот этап часто опускают.

Другие резисты фирмы Кодак . Для тех же целей, но в основном для гальванопластики предназначен резист KPR типа 2 (KPR-2).

Разбавители для KPR-2 аналогичны разбавителям для резиста KOR, поэтому для KPR-2 рекомендуется использовать проявитель, предназначенный для KOR. Содержание твердых частиц в KPR-2 (10-11%) выше, чем в KPR. Поэтому номинальная толщина получаемой пленки KPR-2 равна примерно 25 мкм. Начальная вязкость KPR-2 находится в пределах от 22,6 до 27,6 спз при 25° С.

Все процессы нанесения и проявления те же, что и для KPR. только с учетом повышенной вязкости. Для приемлемого разрешения и контроля в производстве плат рекомендуется толщина пленки KPR-2, равная 5 мкм.

Фотолак Кодак (KPL) по химическому составу идентичен резисту KPR. но у него в четыре раза вьш1е содержание твердого вещества (28%) и он составлен на более быстро высыхающем разбавителе. Слои KPL получаются толще и высыхают быстрее, чем KPR-

Область применения KPL та же, что и область применения KPR. Для получения необходимой химической стойкости при производстве печатных плат к V4 KPL следует добавить /4 KPR- Вязкость смеси при этом достигает 30 спз, потери разрешающей способности пропорциональны увеличению толщины получаемой пленки, которое сопровождается также увеличением времени экспонирования и проявления. Вся технология аналогична процессам с KPR.

Резист Кодак для металлического травления KMER [5] не рекомендуется для применения на меди или анодиро-

*) Например, Warhow 145-10-L или эквивалентный; см. также [3, 4, 22-24].

ванном алюминии. Однако в связи с тем, что при производстве печатных плат используется не только медь, KMER находит некоторое применение. KMER обладает большей адгезией и химической стойкостью в травильных растворах, чем KPR. Склонен давать толстые слои, меньше подвергаемые проколам. Применяется обычно при травлении Ковара.

Из-за повышенной вязкости KMER обеспечивает более низкую разрешающую способность, чем KPR. Вязкость при 20° С находится в пределах от 396 до 504 спз. KMER тиксотропен, и перед измерением вязкости его надо сильно взболтать. Время экспонирования для KMER обычно больше, чем для KPR- Для определения оптимального времени экспонирования необходимы пробы. Все процессы для KMER аналогичны процессам для KPR, кроме проявления, которое проводят следующим образом: окунают, не помешивая, на 2 мин в стоддардовский растворитель *)> затем немедленно промывают в течение 15 сек струей ксилола **) и в течение 15 сек струей смеси (1:1 по объему) этилового спирта и стоддардовского растворителя (или лигроина ***)), затем сушат. Можно применить проявитель KMER или другие подходящие методы проявления. Окрашивание можно производить смесью (1 : 1) проявителя KMER и красителя KPR.

Полученный таким образом KMER в значительной мере гелеобразен. Профильтрованный тщательным образом, KMER становится относительно стабильным и дает пленки однородной толщины.

При печати на стеклоэпоксидных подложках, фольгированных Коваром, нужно придерживаться температуры задубливания, не превышающей допустимого предела в первую очередь для эпоксидной смолы, а затем уже для смолы KMER. Для смолы G-10, например, температура не должна превышать 125° С. Без разрушения выдержит подложка и температуру до 140° С в течение 15-30 мин. При большем времени задубливания и более высоких температурах

*) Уайт-спирит - очищенная нефть. Ядовит. Симптомы отравления аналогичны симптомам при отравлении бензином. Точка кипения 100-110° F (38°-42° С). Источник - фирменный указатель (7-е изд.) фирмы Мерк и К° , Рауэй, Нью-Джерси.

**) Диметилбензол СсН4(СНз)2. Горюч. Обладает наркотическим действием при высоких концентрациях. Источник - указатель фирмы Мерк и К° .

***) Очищенный сольвент-нафта.