Основным недостатком является невысокая скорость травления разбрызгиванием. Этим объясняется постепенная замена этого метода более производительными автоматическими травильными машинами. Качество травления, степень подтравливания и равномерность травления обычно получаются вполне приемлемыми. Как и в других травильных машинах, платы можно поворачивать и во время обработки для получения равномерного травления. На рис. 6.29 показана травильная машина с разбрызгиванием раствора.

15. Травление распылением

Среди методов травления распылением различают одно-и двухстороннее травление, а по положению плат - горизонтальное и вертикальное.

Хорошо известно, что при травлении распылением получается высокий фактор травления и короткое время обработки. Этому способствует большая сила удара травителя о поверхность, постоянная раствора и усиление окисления. Как и при других методах травления, для получения самой высокой разрешающей способности или при травлении плат, изготовленных на материале с толстой фольгой, необходимо наблюдать за степенью подтравливания и точно соблюдать время травления. Разработка рисунка схемы также должна учитывать эффект подтравливания.

Машины, предназначенные для травления распылением непрерывно совершенствовались по мере развития техно логии химически стойких металлов и пластмасс, необходи мых для конструирования. Широко используется в кон струкциях таких машин поливинилхлорид как листовой так и литьевой. Стержни держателя, кожух нагревателя охладительные змеевики, гайки и болты, оси и другие дета ли, требующие высокой прочности и хорошей теплопроводности, выполняются в основном из титана. Этот металл пригоден при использовании всех травителей из хлорной меди, хлорного железа, персульфата аммония и разбавленных и концентрированных азотной и серной кислот. Часто применяются поликарбонатные пластмассы и сплавы.

В некоторых машинах находят применение корпуса для фильтров из полиэтилена, которые: также пригодныГ для оперирования с обычными травильными растворами. Детали насосов, распыляющие сопла и другие элементы,

требующие хорошей химической стойкости и стабильности при несколько повышенной температуре, выполняют из дешевых поликарбонатиых смол.

Очень важно, чтобы органические растворители, масла и растворители для резистов не попадали на пластмассовые детали, которые от их воздействия будут разрушаться.

Другим важным обстоятельством является то, что поли-винилхлориды разрушаются при нагреве. Это разрушение будет происходить при температурах около 55° С. Если трубы из поливинилхлрида применять для подачи горячих растворов, расширение и растягивание труб может быть настолько большим, что движущиеся части в некоторых системах разбрызгивания заклиниваются и перестают работать.

Простая травильная машина состоит из прямоугольной камеры с крьш1Кой в верхней части и отстойником в нижней. Раствор откачивается из отстойника и поступает из распыляющего сопла на поверхность платы. Таким образом, с поверхностью постоянно соприкасается свежий раствор. За счет этого поддерживается высокая скорость травления. Равномерность травления зависит от однородности и силы распыленной струи, характера стекания струи и факторов, специфических для каждого типа травителей, а также от рисунка схемы. Для производства особенно подходят двухсторонние травильные машины.

Вертикальное травление. Осуществляется помещением плат в раму, похожую на раму буфетного ящика, которая крепко держит платы при опускании их в рабочую зону распылительной камеры. На рис. 6.30 показана обычная вертикальная машина с распылением. Более равномерное травление происходит, если сопла во время травления вибрируют. Установлено также, что травление происходит быстрее при распылении раствора перпендикулярно, а не наклонно к плоскости платы.

При увеличении числа сопел этот эффект можно уменьшить, но не исключить полностью. Наилучшие результаты получаются при движении и колебании сопел во всех направлениях и при большом их числе. Некоторая неравномерность травления вызывается скоплением раствора на нижнем конце платы. Этот эффект можно свести к минимуму поворотом платы во время травления. Например, если для полного травления требуется 4 мин, то реле времени можно установить на половину или четвертую часть этого времени.

в конце каждого интервала плату нужно поворачивать на 180°. Отключать реле времени нужно вручную, даже если это может быть выполнено автоматически. Это положение

Рис. 6.30. Вертикальная травильная машина с разбрызгиванием.

является общим для травильных машин, так как оператору необходимо останавливать машину и вынимать раму для контроля процессора.

В машинах этого типа не выполняются операции промывки и нейтрализации. Эффективная недорогая установка для промывки представляет собой узкий бак (тоже с распылением) с распыляющими соплами для воды; в этот бак можно легко перенести всю раму с платами. Бак должен быть сконструирован таким образом, чтобы при установке раму можно было разворачивать. В такой бак можно также залить кислоту или другой раствор для нейтрализации.

Хотя при травлении распылением требуется короткое время по сравнению с травлением барбатированием, одновременно можно обрабатывать только несколько плат и панелей. Это значительно снижает общую производительность по сравнению с пузырьковым травлением (барбатированием).

Если процесс движения сопел механизирован, то надо помнить об износе или ослаблении крепежных соединений, так как это может привести к нарушению движения сопел.