методом, поЬкольку обеспечивает большую скорость процесса, хорошо повышает производительность и обеспечивает травление с высокой разрешающей способностью.

12. Травление погружением

Травление погружением (в глубоком резервуаре) представляет собой наиболее простой метод травления. Платы погружаются в раствор до окончания травления.

Травление погружением требует большой продолжительности, т. е. не удовлетворяет требованиям крупносерийного производства. Ускоряет процесс нагрева травителя и его перемешивание. Равномерность травления достигается при равномерном нагреве и. хорошем[пР 1нивании. Метод погружения особенно пригоден для травления в лабораторных условиях небольших плат или опытных образцов.

13. Травление с барбатированием воздуха (пузырьковое травление)

Травление с барбатированием воздуха по сути дела, представляет модифицированную технологию травления погружением. Пузырьки воздуха проходят через травитель и перемешивают его, обеспечивая подачу свежих порций раствора к поверхности платы и также удаляя продукты реакций травления. Кроме того, воздух обеспечивает подачу кислорода в ванну; кислород увеличивает эффективность травителя, дополнительно окисляя металл и регенерируя травитель. Более подробно это описано при рассмотрении травителей.

Давление воздуха достигает 6,4 атм. Трубопровод диаметром 12,5 мм расположен внизу резервуара, на конец трубопровода надет наконечник с отверстиями диаметром 0,8 мм. В больших резервуарах используется воздух по всему резервуару. Необходима соответствующая вентиляция. Наибольшее применение при травлении с барбатированием . воздуха находит хромово-сернокислотный травитель. Может применяться также персульфат аммония, но при этом требуются охлаждающие змеевики.

Подготовленные для обработки платы помещают в кас-У на расстояние около 1,5 см друг от друга. Необходимо

обеспечить закрепление плат снизу, чтобы создать свободное прохождение раствора вдоль поверхности. В некоторых случаях кассету заменяют двумя стержнями, продетыми через отверстия в верхней и нижней частях плат, причем зазоры между платами обеспечиваются введением шайб.

Для закрепления концов прутка используют обрезки резиновых трубок соответствующего диаметра. Во время травления оператор вынимает кассету, поворачивает ее, что, способствует ускорению травления. Стержни или стойки кассет должны бьггь выполнены из титана. Тогда кассету с платами можно легко переворачивать, не опасаясь разрушить металл. Можно применять и пластик.

Более равномерное травление достижимо при периодическом изменении положения кассеты в течение всего цикла травления.

Поскольку платы имеют большой вес, установочные приспособления должны быть прочньми й выполнены из материалов, не подвергающихся разрушению в травителе. Для этой цели очень подходят виниловые пластики в силу их химической стойкости при температуре не выше 80° С (когда они не подвергаются воздействию сильных органических растворителей). Промывка в воде наиболее эффективно проходит в трехкаскадном проточном резервуаре. Промывка под душем при размещении плат в кассетах не эффективна. После окончания промывки и проведения ней трализации вынутые из кассеты платы погружают в холодную воду для промывки и высушивают струей воздуха до сухого состояния или всю касету с платами промывают в спирте и высушивают.

14. Травление разбрызгиванием.

Травление разбрызгиванием имеет большие преимущества перед пузырьковым, поскольку обеспечивает более равномерное травление и минимум подтравливания. Ограничение этого способа травления состоит в том, что здесь одновременно можно обрабатывать только несколько плат, даже применяя двойные лопасти. Оно широко применяется в технологии фотогравировки.

Раствор для травления нагнетается в сопло турбиной, закрепленной на валу приводного двигателя, и подается к протравливаемым платам центробежной силой. Скорость

вращения вала и конструкция сопла (форма и размеры) определяют количество раствора и силу струи, входящей в контакт с платой. Скорость вращения турбины регулируется, позволяя подобрать режим в зависимости от типа металла и травителей.

Для изготовления турбины применяют разнообразные конструктивные материалы, например нержавеющую сталь.

Рис. 6.29. Травильная установка для травления разбрызгиванием. Размер платы 60 X 60 см, емкость бака: 190 л, мощность нагревателя 1,6 кет, скорость вращения турбинки регулируется в диапазоне от 420 до 620 об/мин.

эбонит, пластмассу и керамику. До недавнего времени основной резервуар выполнялся из легкой керамики. Рекомендуется оборудовать установку вытяжной вентиляции. При этом способе применяются следующие травители: хлорное железо, хлорная медь и смесь хромовой и серной кислот. Персульфат аммония не применяют из-за опасности перегрева и, следовательно, необходимости установки змеевиков охлаждения. Растрескивание от удара, характерное для всех керамических изделий, также представляет Опасность для такого оборудования. Поэтому конструкция делается чрезвычайно прочной. Несмотря на эти недостатки, в настоящее время в эксплуатации находятся машины, проработавшие в течение многих лет.